Центр колективного користування науковими приладами ННЦ ХФТІ (ЦККНП)

Устаткування

Центру колективного користування науковими приладами ННЦ ХФТІ (ЦККНП)
“Аналітичне матеріалознавство наноструктурних систем ядерної енергетики”

EM-09100 IS– Ion Slicer EM-09100 IS – пристрій прецизійного іонного травлення зразків для ТЕМ

Пристрій для препарування зразків, що використовується в ТЕМ. Дозволяє стоншувати фольги для ТЕМ шляхом фрезерування їх поверхні пучком іонів аргону.
Прискорювальна напруга іонів	1 - 8 кВ
Швидкість травлення	5мкм/хвн (при 8 кВ для Si)
Газ для травлення	Аргон чистотою 99,9999%
Тиск газу	0,15 ± 0,5 МПа (1,0-2,0 кг/см²)
Кут падіння іонів	0 - 6°